光谱干涉位移传感器

有了KEYENCE的光谱干涉位移传感器，就有可能以纳米级分辨率测量绝对距离。有时被称为光谱干涉仪，这些专门的传感器被用于精确测量距离，位置和厚度在各种行业。

包括停止系列

阵容

这是世界上第一个微型头，具有同类产品中最高的测量精度和以前认为不可能实现的性能水平。

光谱干涉方法，使1纳米分辨率。

该系列产品包括超小型、长程和其他专门的头部，以匹配各种应用。

由于采用了近红外SLD，即使贴上BG胶带，也可以单独测量晶圆的厚度。即使晶圆表面有强烈的基于图形的变化，也可以进行精确的在线测量。