中风和定位

共焦传感器没有三角测量传感器的死区特性，因此可以更可靠地测量到更小更深的洞。

使用推力梁传感器，可以在高速线上精确测量滚轮位置。

检查触点位移传感器压合故障。

在玻璃上涂胶时，测量设备的高度。利用多色共焦法测量原理，实现了玻璃透明或不透明的高精度测量。

目标定位是为了保证下一道工序的准确执行。激光轮廓仪提供稳定的位置反馈在测量范围的任何地方，无论目标材料，颜色，或大小。

使用机器人教学，确保工具设置在指定的位置。二维远心测量系统可以为末端工具和其他轴向目标提供精确的位置反馈。

有角度的镜子可以用于安装空间有限的测量。该装置可以实现切圆坐标或交点坐标的位置检测，以及晶圆缺口形状和尺寸的同时验证。