光谱干涉位移传感器

使用KEYENCE的光谱干涉位移传感器，可以用纳米级的分辨率测量绝对距离。有时也被称为光谱干涉仪，这些专门的传感器在各种行业中被用来精确测量距离、位置和厚度。

包括停止系列

阵容

介绍世界上第一个微头，具有最高的测量精度和水平的性能，这是以前认为不可能的。

光谱干涉方法，使1纳米分辨率。

该阵容包括超小型，远程，和其他专门的头，以匹配各种应用。

采用近红外SLD，即使在BG胶带粘贴的情况下，也可以单独测量晶圆片的厚度。即使在晶圆表面有很强的基于模式的变化，精确的在线测量也是可能的。