测量传感器

非接触式、高精度激光距离传感器、位置传感器和测量传感器。

阵容

激光分析器

2D和3D激光扫描仪/轮廓测量高度，步高，面积，角度，半径，点对点，点对线和更多。

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单点，非接触式传感器测量距离，位置，或厚度具有速度和精度。

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一维和二维激光扫描和光学千分尺测量直径，间距，宽度角圆度，位置和半径。

三维干涉测量传感器

高精度三维测量面积达10 x 10mm。3D白光干涉术在0.13秒内生成没有死区的精确图像。

光谱干涉位移传感器

用纳米分辨率测量绝对距离的位移计。测量薄膜、晶圆和其他光谱目标的高度或厚度。

电感位移传感器

高速测量距离，跳动，厚度，定位和偏心的金属目标，跳动，厚度，定位和偏心。

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高达0.1微米分辨率的高精度和高耐用检测。连接多个单元进行计算或比较。