三维激光扫描共焦显微镜

VK-X系列

这种型号已经停产了。

推荐的可更换产品:三维表面轮廓仪-VK-X3000系列

机动XY台VK-S110

VK-S110-机动XY级

  • CE标志
  • 环孢素A

规格

模型

VK-S110

运动方向

X轴和Y轴

(打、击等的)一下

100x100毫米3.937英寸x 3.937英寸

表大小

140x140毫米5.512英寸x 5.512英寸

导向法

十字滚子导轨

进给方式

精密杆螺钉,引线:1 mm

轴转换惯量

X轴:9.29×10-7千克·米2.,Y轴:9.62×10-7千克·米2.

发动机

0.35 A/相,5相步进电机,5线五边形接线,保持扭矩:0.017 N m,转子惯量4.2 g·cm2.

决议

1µm

定位精度

10µm

重复定位精度

±1µm

弹回

1µm

失步

3µm

直觉(垂直/水平)

15µm

平行度A

X:20µm,Y:20µm

XY平方度

15µm

承载能力

3公斤

主要材料/大纲

铝合金,黑铝粉饰面

重量

3.7公斤

其他型号