
三维激光扫描共焦显微镜
VK-X系列
推荐的可更换产品:三维表面轮廓仪-VK-X3000系列
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机动XY台VK-S110
规格
模型 |
VK-S110 |
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运动方向 |
X轴和Y轴 |
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(打、击等的)一下 |
100x100毫米3.937英寸x 3.937英寸 |
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表大小 |
140x140毫米5.512英寸x 5.512英寸 |
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导向法 |
十字滚子导轨 |
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进给方式 |
精密杆螺钉,引线:1 mm |
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轴转换惯量 |
X轴:9.29×10-7千克·米2.,Y轴:9.62×10-7千克·米2. |
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发动机 |
0.35 A/相,5相步进电机,5线五边形接线,保持扭矩:0.017 N m,转子惯量4.2 g·cm2. |
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决议 |
1µm |
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定位精度 |
10µm |
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重复定位精度 |
±1µm |
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弹回 |
1µm |
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失步 |
3µm |
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直觉(垂直/水平) |
15µm |
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平行度A |
X:20µm,Y:20µm |
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XY平方度 |
15µm |
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承载能力 |
3公斤 |
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主要材料/大纲 |
铝合金,黑铝粉饰面 |
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重量 |
3.7公斤 |
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