光谱干涉晶圆厚度计
SI-F80R系列
头部延伸装置，不受出口管制SI-FA103
规格
模型 |
SI-FA103 |
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分离式 |
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类型 |
扩展控制器*1 |
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可连接频谱单元的数量 |
1. |
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陈列 |
最小显示单元 |
不适用 |
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显示范围 |
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显示周期 |
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接线板 |
激光远程联锁输入 |
不适用*2 |
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计时1输入 |
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复位1输入 |
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自动归零输入 |
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激光控制输入 |
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模拟电压输出 |
±10 V x 1输出，输出阻抗：100Ω*2 |
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模拟电流输出 |
4至20 mA x 1输出，最大负载电阻：350Ω*2 |
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报警输出 |
不适用*2 |
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通用比较器输出 |
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膨胀接头 |
计时2输入 |
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复位输入 |
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自动调零输入 |
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程序开关输入 |
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报警输出 |
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比较器/二进制输出 |
二进制输出 |
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选通输出 |
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二进制选择输出 |
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二进制选择输入 |
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RS-232C接口 |
不适用 |
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USB接口 |
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以太网接口 |
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主要功能 |
12次同步测量 |
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环境抗性 |
环境温度 |
0至+50°C32至122华氏度*3 |
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相对湿度 |
相对湿度35%至85%（无冷凝） |
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抗振性 |
10至55赫兹，双振幅0.5毫米0.02"，在X、Y和Z方向各2小时 |
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重量 |
约300克 |
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*1主控制器最多可连接四个扩展控制器。 |
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