光谱分析单元SI-F80RU

模型

SI-F80RU

类型

晶圆厚度测量类型谱单元

测量范围

10 ~ 310µm0.000394”,0.0122”(当n = 3.5)^＊1

可能的探测距离

80至81.1毫米3.15”,3.19”

光源

红外SLD输出0.6 mW, 1类激光产品(IEC60825-1, FDA (CDRH) 1040.10部分)^＊2）

光斑直径

ø25µm^＊3

线性

±0.1µm±0.000004”(当n = 3.5)^＊4

决议

0.001µm^*５

采样周期

200µ年代

LED显示屏

测量范围中心附近的目标:绿灯。测量范围内的目标:橙色灯光。
测量范围外的目标:闪烁橙色。

温度波动

0.01%的F.S. /°C

环境阻力

外壳评级

-

环境光

白炽灯或荧光灯:10,000 lux max。

环境温度

0到+35°C32到95华氏度

相对湿度

35 ~ 80% RH(无冷凝)

抗振性

10至55赫兹，双振幅0.5毫米0.02”， X, Y, Z方向各2小时

材料

聚碳酸酯

重量

约1.2公斤