光学单元(轮廓测量模型)CL-PT010N

模型

CL-PT010N^＊1

类型

光学单元

头

CL-PT010^＊1

参考距离

10毫米0.39”

参考测量范围

测量范围

±0.3毫米±0.01”

线性

±0.22µm±0.000009”^＊2

高精度测量范围

测量范围

±0.15毫米±0.01”

线性

±0.2µm±0.000008”^＊2

决议

0.25µm0.000010”^{* 3}

光斑直径

ø3.5µmø0.000138”

激光类

光学单元

类1

采样周期

100/200/500/1000µs(4级可调)

环境阻力

外壳评级

头

IP64 (IEC60529)

环境光

靶面照度30000勒克斯(白炽灯)

环境温度

0到50°C32到122°F

相对湿度

20% RH ~ 85% RH(无凝露)

抗振性

头

10 ~ 57 Hz，双振幅0.45 mm0.02”；X, Y, Z轴各2小时

光学单元

10 ~ 57 Hz，双振幅0.3 mm0.01”；X, Y, Z轴各2小时

耐冲击性

女士15 g 6

温度特性

头

0.1% F.S. /°C

光学单元

0.015% F.S. /°C

材料

头

前:SUS后:铝

光学单元

聚碳酸酯

重量

头

约1100克

光学单元

约1600克