共焦位移传感器
CL-3000系列
光学单元（轮廓测量模型）・（出口管制产品）CL-PT010G
规格
模型 |
CL-PT010G*1 |
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类型 |
光学单元 |
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头 |
CL-PT010*1 |
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参考距离 |
10毫米0.39 " |
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参考测量范围 |
测量范围 |
±0.3毫米±0.01 " |
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线性 |
±0.11µm±0.000004 "*2 |
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高精度量程 |
测量范围 |
±0.15毫米±0.01 " |
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线性 |
±0.09µm*2 |
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决议 |
0.001µm*3 |
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光斑直径 |
ø3.5µmø 0.000138 " |
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激光班 |
光学单元 |
第一类 |
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采样周期 |
100/200/500/1000µs（可调四级） |
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环境抗性 |
外壳额定值 |
头 |
IP64（IEC60529） |
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环境光 |
目标表面照度30000勒克斯（白炽灯） |
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环境温度 |
0至50摄氏度32至122华氏度 |
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相对湿度 |
20%相对湿度至85%相对湿度（无冷凝） |
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抗振性 |
头 |
10至57赫兹，双振幅0.45毫米0.02 "；X、Y和Z轴各2小时 |
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光学单元 |
10至57赫兹，双振幅0.3毫米0.01 "；X、Y和Z轴各2小时 |
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抗冲击性 |
15克6毫秒 |
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温度特性 |
头 |
F.S./°C的0.1% |
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光学单元 |
F.S./°C的0.015% |
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布料 |
头 |
前：SUS后：铝合金 |
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光学单元 |
聚碳酸酯 |
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重量 |
头 |
约1100克 |
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光学单元 |
约1600克 |
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*1传感头和光学单元是匹配的一对。不交叉兼容。 |
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