共焦位移传感器
CL-3000系列
光学单元（70毫米）・（四元型）CL-L070N
规格
模型 |
CL-L070N*1 |
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类型 |
光学单元 |
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头 |
CL-L070*1 |
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参考距离 |
70毫米2.76" |
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参考测量范围 |
测量范围 |
±10毫米± 0.39" |
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线性 |
±2.2µm± 0.000087"*2 |
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高精度量程 |
测量范围 |
±3.0毫米± 0.12" |
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线性 |
±2.0µm± 0.000079"*2 |
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决议 |
0.25µm0.000010"*3 |
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光斑直径 |
ø600µmø 0.0236" |
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激光班 |
光学单元 |
第一类 |
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采样周期 |
100/200/500/1000µs（可调四级） |
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环境抗性 |
外壳额定值 |
头 |
IP67（IEC60529） |
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环境光 |
目标表面照度30000勒克斯（白炽灯） |
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环境温度 |
0至50摄氏度32至122华氏度 |
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相对湿度 |
20%相对湿度至85%相对湿度（无冷凝） |
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抗振性 |
头 |
10至57赫兹，双振幅1.5毫米0.06"; X、Y和Z轴各2小时 |
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光学单元 |
10至57赫兹，双振幅0.3毫米0.01"; X、Y和Z轴各2小时 |
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抗冲击性 |
15克6毫秒 |
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温度特性 |
头 |
F.S./°C的0.005% |
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光学单元 |
F.S./°C的0.015% |
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布料 |
头 |
前：SUS后：铝合金 |
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光学单元 |
聚碳酸酯 |
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重量 |
头 |
约280克 |
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光学单元 |
约1600克 |
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*1传感头和光学单元是匹配的一对。不交叉兼容。 |
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